Casca de Projeto de Tubos de Quartzo de Alta Pureza, Tubos de Silício Fundido com Flange Integrado para Furnas de Tubos de Semicondutores CVD
Publicado em: June 22, 2026
Caso de projeto: Tubo de vidro de quartzo flangeado de alta pureza personalizado
Visão geral do caso
Este caso cobre a produção em lote de tubos de quartzo flangeados personalizados para um fabricante estrangeiro de equipamentos semicondutores. O cliente precisava de tubos de sílica fundida de alta vedação e resistentes a altas temperaturas com flanges de quartzo integrados para sua câmara de reação CVD e forno de recozimento de alta temperatura. Fornecemos personalização completa, incluindo tamanho do tubo, layout do furo do parafuso do flange, espessura da parede e recozimento para alívio de tensão em alta temperatura, resolvendo seus problemas de longa data de vazamento de tubulação, alta poluição por impurezas e rachaduras frequentes nos tubos durante o ciclo térmico.
Pontos problemáticos do cliente antes da cooperação
- Os tubos originais de vidro borossilicato deformam-se em temperaturas de trabalho acima de 900 ℃, causando vazamento na junta do flange e ambiente de vácuo instável.
- Tubos de quartzo soldados comuns sem recozimento quebram facilmente após repetidos ciclos de frio e quente, alto custo de reposição e perda de tempo de inatividade da produção.
- Tolerância dimensional descontrolada dos flanges, má correspondência com os acessórios de vedação metálica do cliente, baixo rendimento de processamento.
- A matéria-prima de quartzo de baixa pureza trouxe contaminação por íons metálicos, afetando a precisão do processamento do wafer.
Nossa solução personalizada de tubo de flange de quartzo
- Seleção de material: Adote 99,99% de sílica fundida sintética de alta pureza com baixo teor de hidroxila, sem impurezas metálicas, compatível com processo ultra-limpo de semicondutores.
- Flange de soldagem a quente integrado: Flange de quartzo fundida integralmente em uma ou ambas as extremidades do corpo do tubo, costura de soldagem de alta resistência, totalmente recozida para eliminar o estresse interno, resistir ao choque térmico.
- Usinagem CNC de precisão: Diâmetro externo personalizado, espessura da parede, comprimento do tubo, diâmetro externo do flange, posição do furo do parafuso e abertura com tolerância estrita ± 0,02 mm.
- Tratamento de superfície: Parede interna e externa do tubo polida por chama, lisa, sem bolhas, arranhões ou microfissuras, excelente transmitância de luz UV e visível.
- Personalização estrutural: Suporta flange único, flanges duplos, fundo de cúpula fechada, estrutura resistente a alta pressão de parede espessa conforme requisitos de desenho do cliente.
Entrega e efeito real da operação
Concluímos a confirmação da amostra, o pedido de teste e a produção em massa em 12 dias úteis, concluímos a inspeção dimensional completa, o teste de envelhecimento em alta temperatura e o teste de estanqueidade a vácuo antes do envio. Após a instalação do cliente e operação contínua a longo prazo:
- Vazamento zero sob alto vácuo e temperatura de trabalho contínua de 1150 ℃;
- Sem rachaduras após mais de 100 testes de ciclo térmico, a vida útil aumentou mais de 3 vezes;
- Precipitação zero de impurezas, rendimento do produto wafer melhorado em 16%;
- O tamanho padrão do flange combinava perfeitamente com as peças de fixação e vedação existentes do cliente, reduzindo bastante o tempo de montagem do equipamento.
