Tubo de quartzo CVD para cliente-Amy de semicondutores turcos

1. Visão geral do projecto

• Cliente: fabricante turco de equipamento CVD
• Produto: tubo de quartzo de sílica fundido de alta pureza
• Material: quartzo JGS2 com baixo teor de hidroxila
• Aplicação: Câmara de reação a altas temperaturas para revestimento de wafer

2Os desafios do cliente

1. Tubos de quartzo comuns desvitrificados facilmente sob aquecimento contínuo a 1100 °C.
2. A espessura desigual da parede afetou a uniformidade do aquecimento e a qualidade da bolacha.
3. Certificados de ensaio de materiais e relatórios de dimensões separados
4. O longo prazo de produção do antigo fornecedor atrasou a entrega do equipamento.

3As nossas soluções

1. Adotar matérias-primas JGS2 com baixo teor de hidroxila para resistir ao nevoeiro a altas temperaturas.
2. Formar rotativo de precisão para controlar a tolerância de espessura da parede dentro de ± 0,1 mm.
3. Combinar os dados de inspecção TC e dimensional dos materiais num relatório completo.
4. Organizar uma linha de produção dedicada para encurtar o ciclo de entrega.

4Resultados da cooperação

• Nenhuma desvitrificação após longa operação no forno, melhorando o rendimento da bolacha.
• Encomendas a granel mensais estáveis após testes experimentais.
• Procedimentos de auditoria simplificados graças a documentos de certificação integrados.
• O cliente apresentou-nos a dois parceiros de semicondutores locais.

5. Market Insight