Alta transparência Disco de janela de observação de sílica fundida Quartz de vidro para Singapura Semicondutor-Mia

Visão geral do projecto

• Cliente: Fabricante de componentes de equipamento de vácuo para semicondutores com sede em Singapura

• Produto: Discos de janela de observação de sílica fundida de alta pureza (componentes circulares do mirante óptico)

• Fornecedor: Lianyungang Shengfan Quartz Products Co., Ltd.

• Materiais: Sílica fundida de alta pureza (pureza de SiO2 ≥ 99,99%, baixo teor de hidroxila)

• Aplicação: Janela de observação para câmaras de vácuo em equipamento de gravação por plasma e deposição de película fina de semicondutores, utilizada para monitorização visual de processos em tempo real e inspecção óptica

• Processos essenciais: Corte de discos de quartzo de precisão, polir e polir de dois lados de qualidade óptica, chamfering de bordas, inspecção dimensional.

Pontos de dor originais do cliente

1Transmissão insuficiente dos mirantes de vidro padrão que afetam a precisão do monitoramento do processo

O cliente utilizava anteriormente vidro temperado de ferro baixo como janela de observação para câmaras de vácuo.A transmissão da luz diminuiu drasticamente no espectro ultravioleta profundo ao infravermelho próximo (particularmente abaixo de 300 nm)Isto impediu a observação precisa dos estados de plasma e das condições da superfície da wafer durante o processamento, comprometendo a puntualidade e a precisão dos ajustes dos parâmetros do processo.

2. Descoordenação de expansão térmica causando falha de serviço de alta temperatura

Os processos de gravação e deposição de semicondutores envolvem frequentes ciclos de temperatura da câmara.com um diâmetro não superior a 50 mm,O ciclo térmico repetido levou à formação de rachaduras de tensão, com uma vida útil média inferior a 6 meses.

3- Finitura superficial insuficiente que afeta a precisão da inspecção óptica

O cliente instalou equipamento de inspecção óptica (espectrômetros, interferômetros a laser) fora da câmara, exigindo uma rugosidade de superfície extremamente baixa e uma precisão elevada da figura da superfície.Os produtos do antigo fornecedor satisfaziam apenas a qualidade geral da superfície industrial (S/D 80/50), com perdas de dispersão significativas que degradavam as relações sinal/ruído na detecção óptica.

As nossas soluções e vantagens específicas

1Material de sílica fundida de alta pureza com alta transmissão de banda larga

Escolhemos um material de sílica fundida de alta pureza (SiO2 ≥ 99,99%) com alta transmissão de banda larga do ultravioleta profundo (185 nm) ao infravermelho próximo (2500 nm).A transmissão na região DUV é substancialmente melhorada, assegurando a precisão e a fiabilidade da monitorização dos processos e da inspecção óptica.

2Baixo coeficiente de expansão térmica com excelente estabilidade de ciclo térmico

O coeficiente de expansão térmica da sílica fundida é de apenas 5,4×10−7/°C, significativamente inferior ao vidro padrão.As alterações dimensionais são mínimas.A vida útil é de 3 a 5 vezes maior que a das janelas de vidro normais.

3. Alta pureza, baixo teor de impurezas assegurando a limpeza do ambiente de vácuo

Escolher material de sílica fundida com baixo teor de hidroxilo, com um teor de impurezas metálicas controlado a níveis de ppb. Não ocorre desgaseamento ou contaminação em condições de vácuo de alta temperatura,que satisfaçam plenamente os rigorosos requisitos de limpeza da câmara dos processos de gravação e deposição de semicondutores.

Resultados da cooperação e feedback dos clientes

1A precisão do monitoramento do processo melhorou significativamente

Após a adoção de janelas de sílica fundida de alta pureza, o cliente pode observar claramente a distribuição do plasma e as condições da superfície da bolacha dentro da câmara durante os processos de gravação por plasma.Melhoria de aproximadamente 25% da rapidez de ajuste dos parâmetros do processo, com o rendimento da bolacha aumentando cerca de 3%.

2. Vida útil das janelas substancialmente prorrogada

Fused silica windows have been operating continuously in semiconductor vacuum chambers for over 18 months without stress cracks or transmittance degradation—more than 3 times the service life of standard glass windowsOs custos de manutenção e o tempo de inatividade da linha de produção foram significativamente reduzidos.

3Qualidade do sinal óptico de inspecção otimizada

O acabamento de superfície de grau óptico (Ra < 1nm, S/D 40/20) reduz substancialmente as perdas de difusão da luz.fornecer um suporte de dados em tempo real mais preciso para o controle de processos.

4Ordens em massa recorrentes estáveis

Após um pedido de ensaio bem sucedido de 200 peças, o cliente assinou um acordo-quadro anual com pedidos mensais médios de 200 a 300 peças.As janelas de observação de sílica fundida foram incorporadas ao catálogo de compras de componentes padrão do cliente.