Portadores de wafer de quartzo de alta pureza tornam-se consumíveis essenciais para fornos a vácuo-Amy
2026/07/10
Os transportadores de wafer de quartzo de alta pureza (barcos de quartzo) são acessórios essenciais dentro de fornos semicondutores a vácuo para processos de recozimento, LPCVD, oxidação e difusão.
Feitos de 99,995% de sílica fundida, eles apresentam impurezas metálicas ultrabaixas para evitar a contaminação do wafer sob alto vácuo. Com expansão térmica ultrabaixa e recozimento total com alívio de tensão, os transportadores permanecem dimensionalmente estáveis sob ciclos térmicos repetidos de 1000–1200°C, resistindo a choques térmicos e deformação.
Quimicamente inertes ao flúor, gases ácidos e transportadores, as superfícies lisas polidas reduzem o derramamento de partículas e arranhões de lascas. A ranhura de precisão mantém os wafers espaçados uniformemente para fluxo uniforme de calor e gás, estabilizando a espessura do filme e o desempenho elétrico.
Tamanhos personalizados para wafers de 4/6/8/12 polegadas estão disponíveis para combinar com fornos de tubo de vácuo horizontais e verticais. Os transportadores de quartzo nacionais combinam a qualidade importada com prazos de entrega mais curtos e custos mais baixos, apoiando a produção em massa de chips, células solares e materiais optoeletrônicos.
